[24a-31B-1~9] 17.3 層状物質

11:00 〜 11:15

[24a-31B-8] アモルファス SiO2上のスパッタ MoS2膜に対する平面電子顕微鏡像解析

〇今井 慎也¹、宗田 伊理也¹、川那子 高暢¹、角嶋 邦之¹、辰巳 哲也¹、冨谷 茂隆¹、若林 整¹ (1.東工大)

キーワード：

二硫化モリブデン,スパッタリング,透過型電子顕微鏡