[24a-32A-1~10] 17.2 グラフェン

10:45 〜 11:00奨励賞エントリー

[24a-32A-8] 仕事関数の異なる異種金属電極を用いたグラフェン光検出器の評価

〇首藤 玲¹、諸橋 功²、張 亜¹ (1.農工大工、2.情報通信研究機構)

キーワード：

グラフェン,センサ,光検出器

本論文では、Si/SiO2基板上にAl-G-Au構造とCr-G-Au構造の2種類のグラフェン光検出器を作製し、それらの特性を評価した。Al-G-Auデバイスの光電流測定は、ゼロバイアス電圧条件で、入射パワーに比例した光電流（～12.9 µA/W）を観測した。Cr-G-AuデバイスのHFエッチング前後の光電流測定は、エッチング後には光電流発生量が11.1 µA/Wから33.8 µA/Wに増加した。この結果は、グラフェン光検出器の実現に有効である。