講演情報
[24a-71A-7]THz-PMTと光注入型テラヘルツ波パラメトリック光源を用いたシリコンウェハの抵抗率評価
〇河合 直弥1、高橋 永斉1、杉浦 銀治1、勝山 広太1、瀧田 佑馬2、Buchmann Olaf Tobias3、Sebek Matej3、Lange Jappe Simon3、Jepsen Uhd Peter3、南出 泰亜2、里園 浩1、大村 孝幸1 (1.浜ホト、2.理研、3.DTU)
キーワード：
テラヘルツ,半導体,is-TPG
THz-PMTとis-TPG光源を用いて分光反射測定を行う事でシリコンウェハの抵抗率を非接触で評価した。THz-PMTは非常に非線形な応答特性を示す検出器のため、テラヘルツ波の電界強度のわずかな変化を評価することが出来る。シリコンウェハの反射率をTHz-PMTとパイロディテクタで測定しパイロディテクタでは判別できない微小な抵抗率の違いをTHz-PMTで検出することに成功した。