2024年第71回応用物理学会春季学術講演会
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11:15 〜 11:30
[24a-71A-9]
テラヘルツ時間領域エリプソメトリによる表面伝導度の評価
渡邊 創
1
、〇永井 正也
1
、芦田 昌明
1
、李 好博
2
、服部 梓
2
、田中 秀和
2
(1.阪大院基礎工、2.阪大産研)
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キーワード:
エリプソメトリ,テラヘルツ,薄膜
我々は薄膜に対してテラヘルツ時間領域エリプソメトリを行い、誘電体多層膜モデルを介さずに表面伝導度を簡便に導出できることを示す。
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