[24a-P04-1~6] 3.6 レーザープロセシング（旧3.7）

[24a-P04-3] ナノ秒紫外レーザーにより形成されたナノドット構造を有するシリコン太陽電池のラマン分光

〇草場 光博¹、平井 健太¹、田中 朋世¹、堤 大輔¹、橋田 昌樹^2,3、坂上 仁志⁴ (1.大産大工、2.東海大総科研、3.京大化研、4.核融合研)

キーワード：

シリコン太陽電池,ナノドット構造,ラマンスペクトル

ナノ秒紫外レーザーを用いてシリコン太陽電池のピラミッド構造表面に100 nm以下のナノドット構造を形成させ、それの結晶性の評価についてラマン分光を行った。レーザーフルエンス0.23から0.48 J/cm²の範囲内でレーザー照射した場合、いずれもラマンスペクトルのピーク波数が高波数側にシフトすることが分かった。つまりこれは太陽電池表面に圧縮応力が付与されたことを示す。