講演情報
[24a-P04-4]空気による加圧システムと機械学習を用いたガラス平板間の超短光パルスマイクロ接合の安定化
〇(B)小谷 啓人1、玉木 隆幸1 (1.奈良高専)
キーワード：
フェムト秒レーザー,超短光パルスマイクロ接合,機械学習
現在，ガラス間の超短光パルスマイクロ接合では，ガラスに対する加圧とレーザー光の集光点位置が安定しないこと等が原因で接合の成功率が低い．本研究では，空気圧シリンダを用いて被接合試料に均等に圧力を加えるシステムを開発し，また，レーザー光がガラス表面にて発光する画像を用いた機械学習により集光点位置を決定するシステムを構築した．これにより，超短光パルスマイクロ接合の安定化，成功率の向上を実現した．