講演情報
[24a-P05-5]広帯域光源を用いた透過型共通光路位相シフト干渉顕微鏡
〇陳 軍1、菱山 大吾1、豊田 光紀1 (1.東京工芸大工)
キーワード：
干渉計測,広帯域SLD
広帯域スーパールミネッセントダイオード(SLD)を光源に用いる透過型共通光路位相シフト干渉顕微鏡を開発した。システムでは、物体光と参照光がほぼ同じ光路を通過するため、振動や空気揺らぎなどの影響をほとんど受けず、高安定、高精度の位相計測が可能となる。その上、レーザとLEDの長所を併せ持つSLDを用いることで、レーザの干渉性に起因するノイズを大きく低減し、超高精度の測定を可能にした。