講演情報
[24a-P11-1]混晶バルクSiGe結晶の機械的特性 II
〇荒井 康智1、内田 茂樹2、草間 正寛2、神田 剛2、椿 浩二2、片野 佳文2、片岡 正巳3、佐々木 新悟3、佐藤 靖則3、松村 億久3、小八重 竹夫3、川崎 拓也3 (1.宇宙機構、2.トプコン、3.ティーディーワイ)
キーワード：
シリコンゲルマニウム結晶
先行研究で報告されているSiGe結晶Gibbs自由エネルギー、圧縮率組成依存性等を用いて結晶中のSi-SiおよびGe-Ge部分密度揺らぎの情報等、SiGe結晶の構造情報を計算した。これらの構造情報と前回の応用物理学会において報告したナノインデンテーション硬さの関係について考察する。