[24a-P12-1~3] 15.5 IV族結晶，IV-IV族混晶

[24a-P12-2] 高移動度歪みGeチャネルに向けたSi(111)上SiGeバッファーの形成とクラック発生抑制

〇吉田 雄一¹、武井 爽一郎¹、澤野 憲太郎¹ (1.東京都市大)

キーワード：

SiGe/Ge構造