[24a-P12-1~3] 15.5 IV族結晶，IV-IV族混晶

[24a-P12-3] パターニング手法によって形成した歪み SiGe 層内へのクラック発生に対する熱処理の影響

〇新井 聖雅¹、長尾 優希¹、澤野 憲太郎¹ (1.東京都市大)

キーワード：

Ge(111)