[24p-12B-1~15] CS.1 2.3 加速器質量分析・加速器ビーム分析、7.4 イオンビーム一般のコードシェアセッション

16:45 〜 17:00奨励賞エントリー

[24p-12B-12] 反応性ガス吸着とGCIB照射を用いたエッチングにおける基板冷却効果

〇(BC)伊藤 汰一¹、作田 昂大¹、竹内 雅耶¹、豊田 紀章¹ (1.兵庫県立大学工)

キーワード：

ガスクラスターイオンビーム,エッチング,低温