[24p-12B-1~15] CS.1 2.3 加速器質量分析・加速器ビーム分析、7.4 イオンビーム一般のコードシェアセッション

17:00 〜 17:15奨励賞エントリー

[24p-12B-13] 中性ガスクラスタービームを用いたCu膜のドライALE

〇池田 圭佑¹、田中 秀幸¹、竹内 雅耶¹、豊田 紀章¹ (1.兵庫県立大工)

キーワード：

中性ガスクラスタービーム,エッチング,表面反応