[24p-12B-1~15] CS.1 2.3 加速器質量分析・加速器ビーム分析、7.4 イオンビーム一般のコードシェアセッション

17:15 〜 17:30

[24p-12B-14] GCIB照射で極薄化した電子線透過窓を用いた液体セルによるSEM/EDS検出の高感度化

〇竹内 雅耶¹、鈴木 哲²、豊田 紀章¹ (1.兵庫県立大工、2.兵庫県立大高度研)

キーワード：

ガスクラスターイオンビーム,窒化シリコン,溶液化学

SiNxメンブレンを電子透過窓とする液体セルを用いることで、液体試料の真空中でのXPS分析やSEM観察が可能になっている。本研究では、低損傷でドライエッチングを行う事が可能なガスクラスターイオンビーム（GCIB）を用いてSiNxメンブレンの極薄化を行い、その耐圧性試験を行う。さらに実際に液体セル中に液体を封止し、GCIB照射によって極薄化したSiNx膜による液体試料検出の高感度の原理実証を、SEM/EDSを用いて行う。