[24p-12B-1~15] CS.1 2.3 加速器質量分析・加速器ビーム分析、7.4 イオンビーム一般のコードシェアセッション

17:30 〜 17:45

[24p-12B-15] 外部汚染成分が共存する高分子混合試料のTOF-SIMSデータの相関分析

村上 廉太郎¹、〇盛谷 浩右¹、乾 徳夫¹ (1.兵庫県大院工)

キーワード：

飛行時間型二次イオン質量分析,クラスターイオンビーム,多変量解析

本研究では，外部汚染成分が共存する2種の高分子（PS, PEG）混合モデル試料より得られた複数のTOF-SIMSデータ解析に相関分析を応用し,相関係数を元にしてピークを分類した．従来TOF-SIMSデータの解析に用いられてきた多変量解析手法(主成分分析;PCA，多変量スペクトル分解;MCR）および，クラスタリング手法（k-means法）を用いた解析結果と比較した．