講演情報

[24p-12C-12]貫通流路内に極細白金線マイクロヒータを設けた熱伝導式湿度センサの応答性評価

〇豊島 克久1 (1.都産技研)

キーワード:

マイクロヒータ,湿度センサ,熱伝導式センサ