[24p-12J-1~9] CS.8 8.3 プラズマナノテクノロジー、9.2 ナノ粒子・ナノワイヤ・ナノシートのコードシェアセッション

16:45 〜 17:00

[24p-12J-5] ナノポーラス化銀表面の形成に及ぼすプラズマ生成電極性状の影響

〇安田 怜央¹、中村 航己¹、垣内 弘章¹、大参 宏昌¹ (1.阪大院工)

キーワード：

プラズマ,SERS,ナノ細孔

多数のナノ細孔が形成された金属表面は、表面積の増大による高効率な触媒や表面プラズモン励起による化学センサーなど様々な応用が期待される。本研究では、高密度水素プラズマによるAg表面ナノポーラス化プロセスの処理面積拡大を目指す。そこで、プラズマ生成電極の形状や材質がAg表面のナノポーラス化挙動に与える影響を調べると同時に、各電極で得られるAg表面のSERS効果を検証した。