講演情報
[24p-12M-7]SHJ太陽電池応用に向けたn-a-Siのベイズ最適化を用いた堆積条件探索
〇(M2)大橋 亮太1、沓掛 健太朗2、Huynh Thi Cam Tu1、大平 圭介1 (1.北陸先端大、2.理研)
キーワード：
触媒化学気相堆積法,ベイズ最適化,パッシベーション
ベイズ最適化を用いて少ない試行回数で良好なパッシベーション性能を持つn型非晶質Si(n-a-Si)の堆積条件探索を行った。この堆積条件探索では，「膜厚10 nmに固定」，「実現不可能な堆積条件の排除」，「10-4 S/cm以上の導電率」という制約を加えて，実効少数キャリア寿命(τeff)の最大化を試みた。その結果，19回目のベイズ最適化サイクルにおいて5.4 msを超えるτeffが得られ，21回のサイクルでn-a-Siの堆積条件探索は完了した。