[24p-12M-1~21] 16.3 シリコン系太陽電池

15:00 〜 15:15奨励賞エントリー英語発表

[24p-12M-8] Optimization of i-a-Si:H passivation process by DC facing target sputtering deposition

〇(D)Shasha Li¹, Shinsuke Miyajima¹ (1.Tokyo Tech)

キーワード：

amorphous silicon、surface passivation、sputtering