講演情報
[24p-13P-3]β-FeSi2中Ag粒子の局在表面プラズモンによる赤外光物性制御
〇奥原 芳樹1、上出 龍星1、黒山 友宏1 (1.JFCC)
キーワード：
プラズモン,シリサイド,銀
赤外域にて消衰係数kを低く抑えつつ屈折率nを高める光物性の制御を目指し、半導体シリサイドβ-FeSi2中に分散させたAgナノ粒子の局在表面プラズモンによって赤外屈折率nを4.8から8.5にまで向上させることに成功した。Agナノ粒子（直径50nm前後）の均一分散性が赤外域での高いnと低いkの両立に重要であり、その均一分散にはβ-FeSi2マトリックスの厳密な化学量論組成制御が重要であることを見出した。