講演情報

[24p-21B-11]ダブルキャビティ構造を有するSiGe平面型熱電素子

〇小池 壮太1、柳澤 亮人1、黒澤 昌志2、森 孝雄3、野村 政宏1 (1.東大生研、2.名古屋大、3.物材機構)

キーワード:

熱電変換,シリコンゲルマニウム,エネルギーハーベスティング