[24p-22A-1~7] 15.3 III-V族エピタキシャル結晶・エピタキシーの基礎

14:15 〜 14:30

[24p-22A-4] III-V希薄窒化物混晶の成長過程におけるアンチモンサーファクタント効果

〇山根 啓輔¹、彦坂 昌志¹、若原 昭浩¹ (1.豊橋技科大)

キーワード：

希薄窒化物,アンチモン,サーファクタント