[24p-22C-1~10] 12.5 有機・ハイブリッド太陽電池

15:15 〜 15:30

[24p-22C-6] 4面対向スパッタリングカソードを用いたペロブスカイト太陽電池の高変換効率化

〇小林 風太¹、西田 義基¹、猿渡 哲也¹ (1.京浜ラムテック)

キーワード：

低ダメージスパッタリング,対向ターゲット,RAM force cathode

ペロブスカイト太陽電池のドライ化が求められている。四面対向式スパッタリングカソードを使用して各層の形成を行った。TCOにおいてはダメージレスな蒸着法と同等の低ダメージ性及び変換効率を示した。HTLにおいては有機材料と比べて変換効率の向上が確認されている。独自の構成により低ダメージ且つ低欠陥の膜形成によりドライプロセスにおける変換効率向上が可能である。