[24p-61C-1~7] 深紫外光デバイスの進展

13:35 〜 14:05

[24p-61C-3] 波長変換を用いた波長220 nm帯遠紫外光源の開発

〇片山 竜二¹、三宅 秀人²、吉村 政志³、上向井 正裕¹、谷川 智之¹ (1.阪大院工、2.三重大院工、3.阪大レーザー研)

キーワード：

第二高調波発生,遠紫外光源

波長220 nm帯の遠紫外光は人体に照射可能な殺菌消毒光として好適であり、エキシマランプ・レーザに代わる安価で高効率な光源として、高効率InGaNレーザを基本波として使用できる第二高調波発生デバイスを開発した。結晶方位を反転した薄膜を積層させたAlN光導波路ならびに、反射位相の厳密制御と光波の強い閉じ込めが可能なSrB₄O₇微小共振器なる二種の新規な波長変換デバイスを用いて実証した遠紫外光発生について報告する。