講演情報
[24p-P02-4]HF-HiPIMS法を用いたDLC膜の二次元ラマンマッピングによる炭素構造モデルの探索
〇福江 紘幸1、小佐野 芳寿2,1、鷹林 将3、岡野 忠之4、黒岩 雅英4、國次 真輔5、太田 裕己6、米澤 健6,1、中谷 達行1 (1.岡山理大、2.三菱鉛筆、3.有明高専、4.東京電子、5.岡山工技、6.ケニックス)
キーワード：
ダイヤモンド様炭素膜,ラマン分光法,大電力パルススパッタ
我々はHF-HiPIMS法を用いたDLC膜のラマンスペクトルについて研究している．本報告ではHF-HiPIMS法を用いたDLC膜の二次元ラマンマッピングによる炭素結合モデルを探索した．膜密度の増加によって，二次元マッピングのDバンド面積比が減少したことから，膜密度の増加に伴い，入射イオンが強くなることが示唆された．この結果はピンポイント測定から考察されたsp2クラスターモデルと同じ傾向を示した．