講演情報
[24p-P02-5]AC-HV-CVD法を用いたDLCラマンスペクトルの5ピーク分離解析における非線形最小二乗法の適用
〇小佐野 芳寿1,2、福江 紘幸2、鷹林 将3、國次 真輔4、今井 裕一5,2、中谷 達行2 (1.三菱鉛筆、2.岡山理大、3.有明高専、4.岡山工技、5.ストローブ)
キーワード：
ダイヤモンド様炭素膜,ラマン分光法,交流高電圧バーストプラズマ化学気相堆積
本研究グループでは，DLC膜のラマンスペクトルの5ピーク分離解析について研究している．本報告では，非線形最小二乗法を適用した解析プログラムを作成しAC-HV-CVD法で成膜したDLC膜のラマンスペクトルの自動解析を行った．得られた結果の決定係数R2及びχ2の値を従来の手動解析によるものと比較すると，自動解析の精度がより高いことがわかり，これまでの5ピーク分離解析における再現性や解析効率の課題を改善できることが示された．