講演情報
[24p-P02-7]軟X線照射および昇温による高水素化DLC膜の自由体積の変化
〇神田 一浩1、丹羽 大輔1、三嶋 友博1、中西 康次1、福室 直樹2、堀 史説3、薮内 敦4、木野村 淳4 (1.兵県大高度研、2.兵県大工、3.大阪公大、4.京大複合研)
キーワード：
ダイヤモンドライクカーボン膜,陽電子消滅法,自由体積
高水素化ダイヤモンドライクカーボン膜(H-DLC膜)中の自由体積の軟X線照射量依存性・昇温温度依存性を、低速陽電子線を用いて観測して、軟X線照射と昇温による水素放出でH-DLC膜の構造変化に違いがあるのかを調べた。昇温による水素脱離ではSパラメータと陽電子消滅寿命が共に増加するのに対し、軟X線照射では陽電子消滅寿命が増加しているにも関わらず、Sパラメータが減少していることを見出した。