[24p-P02-1~13] 6.2 カーボン系薄膜

[24p-P02-8] 水素化ダイヤモンドライクカーボン薄膜に対する原子状水素照射効果

〇春山 雄一¹、部家 彰²、住友 弘二²、豊田 紀章²、伊藤 省吾² (1.兵庫県大高度研、2.兵庫県大工)

キーワード：

ダイヤモンドライクカーボン

水素化DLC薄膜に対する原子状水素照射効果を光電子分光により調べた。原子状水素照射前、C 1sスペクトルにおいて284.6 eVにピークが観測されたが、原子状水素照射後、ピークは285.2 eVにシフトした。光電子放出角依存性から、表面ではsp3結合炭素がリッチであるが、それより下層ではsp2結合炭素がリッチになり、バルクのsp3/sp2比に近い状態になっていることが示された。