[24p-P02-1~13] 6.2 カーボン系薄膜

[24p-P02-9] RF-PCVD法で作製した高分子状炭素薄膜の膜厚に対する電気絶縁性

〇(M1)一條 瑛巴¹、金杉 和弥¹、ALI ALANAZI²、平栗 健二¹ (1.電機大工、2.キングサウード大)

キーワード：

DLC,電気絶縁性