講演情報
[24p-P03-5]加熱を伴うPt蒸着した[EMIm]Tf2N/Si表面の構造観察
〇(B)来海 裕之1、松浦 聖直1、渡邊 美紀1、山中 郁哉1、杉山 宏一1、内藤 正路2、碇 智徳1 (1.宇部高専、2.九工大院工)
キーワード：
イオン液体,ナノ粒子,表面構造
Pt/イオン液体(IL)/Si(100)基板を大気中で加熱した基板表面の観察を行った。Ptはマグネトロンスッパタリング装置を用い40nmまでILを滴下したSi(100)基板に蒸着した。これらの試料の表面構造は、走査型電子顕微鏡（SEM）とエネルギー分散型X線分光法（EDS）で観察した。本研究では、Ptの蒸着量と加熱温度の増加に伴う表面上のナノ粒子の挙動を調べた。