金属／半導体界面における電気特性の制御は、エレクトロニクス分野において重要である。その電気特性の制御において、金属／半導体界面のショットキー障壁高さの不均一性に関する研究が注目されている。本研究では、金属／半導体界面に金属ナノ粒子を導入したショットキーバリアダイオードを作製し、ナノ粒子の種類やサイズなどが電気特性に及ぼす影響について検討した。