講演情報
[24p-P16-26]Ca-Zn-O2混合プラズマを用いたCaZnO-TCFの合成
〇佐藤 直幸1、ﾃｨﾎﾐｰﾙ ｷｭｿﾞﾋﾞｯｸ1、藤田 黎輔1、石田 大輝1、保坂 恭平1 (1.茨城大院理工)
キーワード：
透明導電膜
Zn-O2混合プラズマにより，シート抵抗Rsが1 Ω/□台，平均光透過率が80％以上の特性を持つZnO透明導電膜を合成してきた.他の金属を導入した場合でも同様に金属-酸素混合プラズマの生成と制御が可能であると考え，フルスペクトルTCFを念頭にCaの導入に着手している．CaOは一般的に絶縁物であるが，本方法により化学量論比のずれ等を引き起こすことで，Zn導入がなくとも導電性の発現を期待している.