講演情報

[24p-P16-5]スピンコートを用いた有機金属分解法によるGa₂O₃薄膜の作製と構造・光学特性

藤田柊樹¹、松下愛海¹、〇澤畠淳二¹ (1.茨城高専)

MOD,Ga2O3