[25a-12F-1~9] 6.4 薄膜新材料

9:15 〜 9:30

[25a-12F-2] 反応性スパッタリングにおけるプラズマ発光分析による酸化鉄薄膜成長の観察

〇南 麟太朗¹、喜多 英治¹、柳原 英人¹ (1.筑波大)

キーワード：

反応性スパッタリング,プラズマ発光

反応性スパッタリング法は元のターゲットモードにより，同じ条件でも成膜速度が異なるため薄膜成長の再現性を損なうことが課題となっている。そのため成膜中にその場観測できる物理現象により成膜中の薄膜の状態を知る必要がある。
そのため，本研究では成膜プロセス中に得られるプラズマ発光スペクトルを用いて統計的な解析を行い，酸素流量を変化させ成膜して得られた鉄酸化物の価数評価及び成膜速度の予測を行った。