[25a-12F-1~9] 6.4 薄膜新材料

11:00 〜 11:15

[25a-12F-9] 窒化ケイ素焼結基板上にコーティングした銅粒子の断面観察

〇柴田 響一¹、石田 健¹、木村 玲皇¹、中村 淳^2,1、小松 啓志¹、齋藤 秀俊¹ (1.長岡技科大、2.中部キレスト)

キーワード：

窒化ケイ素焼結基板,銅粒子,エチレンジアミン四酢酸