講演情報
[25a-12M-2]電子顕微鏡向けナノメートル電子光源の精密計測法
〇松永 宗一郎1、川本 絵里奈1 (1.日立研開)
キーワード：
走査電子顕微鏡,電子源,仮想光源
高性能電子顕微鏡の電子源にはナノメートルに先鋭化した針から電子を放出する電界放出電子源が用いられている。本研究では、微小な電子光源の大きさを精密に測定する手法を提案する。２段レンズを使った拡大投影系を用いることで、数十ナノメートルの光源を6.6%の精度で計測できることを実証した。電子源特性評価方法の標準化に寄与する研究である。