[25a-12M-1~11] 7.2 電子ビーム応用

9:30 〜 9:45

[25a-12M-3] 反応性スパッタ法により成膜した窒化ハフニウム薄膜の耐酸化性の窒素組成依存性の評価

〇大住 知暉¹、長尾 昌善²、後藤 康仁¹ (1.京大院工、2.産総研)

キーワード：

窒化ハフニウム,窒素組成,耐酸化性

反応性スパッタ法により窒素の流量を制御し、異なる窒素組成を持つ窒化ハフニウム薄膜を成膜した。作製した試料を大気中400℃で2時間熱処理を行い、熱処理前後の表面近傍の酸素の量の変化を核共鳴散乱分析法により評価した。窒素組成が増加するにつれて、熱処理による薄膜表面の酸素の増加量が減少した。窒素組成の増加に伴い、耐酸化性が向上すると考えられる。