[25a-1BJ-1~10] CS.6 6.1 強誘電体薄膜、13.3 絶縁膜技術、13.5 デバイス／配線／集積化技術のコードシェアセッション

10:45 〜 11:00

[25a-1BJ-8] 負性容量状態における強誘電体の分極反転速度

〇鳥海 明¹、右田 真司² (1.自由業、2.産総研)

キーワード：

強誘電体,負性容量,HfO2

ヒステリシス無しの負性容量状態が成立した場合の分極反転の速度について議論する。