[25a-61C-1~10] 23.1 合同セッションN「インフォマティクス応用」

9:00 〜 9:15

[25a-61C-1] 表面SEM/EDX分析とベイズ推論を用いた非破壊元素マッピング

〇星名 豊¹、山崎 智尋²、加藤 馨³ (1.住友電工、2.大阪大学、3.ワールドインテック)

キーワード：

EDX分析,非破壊,ベイズ推論

全分析装置のなかでも取り扱いが比較的容易な表面SEM/EDX分析のデータからベイズ推論を用い、試料内部の元素深さプロファイルを非破壊で推定する方法を確立した。断面観察などの破壊試験と比べ各段に簡便な手続きによって、薄膜積層構造における各層の組成や厚みを精度（ベイズ確信区間）つきで推定でき、試料の評価法として多様な応用が見込まれる。