講演情報

[25a-71B-7]Al2O3 passivation膜を有するNi/Al2O3/PVD-WS2コンタクト特性

〇(B)寺岡 楓1、今井 慎也1、黒原 啓太1、伊東 壮真1、川那子 高暢1、宗田 伊理也1、角嶋 邦之1、若林 整1 (1.東工大)

キーワード:

二硫化タングステン,コンタクト特性