講演情報

[25a-71B-8]Bi2Te3層状膜による単層WSe2 pMOSFETの性能向上

〇張 文馨1、畑山 祥吾1、齊藤 雄太1,2、岡田 直也1、遠藤 尚彦3、宮田 耕充3、入沢 寿史1 (1.産総研、2.東北大、3.都立大)

キーワード:

WSe2,Bi2Te3,ファンデルワールス