[25a-P05-1~8] 16 非晶質・微結晶（ポスター）

[25a-P05-4] スパッタおよびイオン注入を用いた高品質(τ_eff > 10 ms) TOPCon構造の作製

〇(D)山口 昇^1,2、Li Shasha¹、宮島 晋介¹ (1.東工大工、2.アルバック)

キーワード：

TOPCon,スパッタ,イオン注入