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[25a-P05-6]反応性力場分子動力学法を用いたシリコン酸化膜中のシリコンナノ結晶形成プロセスの解析

〇田村玄汰^1,2、上根直也²、後藤和泰^3,4,5、宇佐美徳隆⁵、徳増崇² (1.東北大院工、2.東北大流体研、3.新潟大工、4.新潟大IRCNT、5.名大院工)

分子動力学法,酸化シリコン