[25p-12M-1~13] 7.1 X線技術

16:45 〜 17:00

[25p-12M-13] 30 keV励起硬X線光電子分光法の開発と応用

〇安野 聡¹、Seo Okkyun¹、高木 康多¹、西原 達平¹ (1.JASRI)

キーワード：

光電子分光法,硬X線光電子分光法,HAXPES

本研究では硬X線光電子分光法(HAXPES)の分析深さをさらに向上させるべく、従来よりも高い運動エネルギーの光電子の計測が可能な30 keV励起対応HAXPESを開発した。本技術により、従来のHAXPESに比べて数倍分析深さが向上し、実際のデバイスや実材料に近い構造の評価が可能になると考えている。講演では、本技術を使用した応用事例や実用化へ向けた課題等について報告する予定である。