講演情報

[25p-12M-6]ナノ微細化したキャピラリ光学素子のX線回折イメージングへの応用

〇山梨 眞生1 (1.京都市産技研)

キーワード:

X線光学素子,イメージング,アノード酸化

巨視的な化学反応下における微細領域の結晶構造分布観察のような高空間分解能化、広視野化を達成するX線回折イメージング技術が求められている。イメージングを行うためには試料の位置情報を保持するX線光学素子が必要である。本研究では電気化学的アプローチから微細ナノ構造をもつポーラス型アノード酸化皮膜をX線光学素子へ応用し、X線回折イメージング法としての分析特性評価を行った。