講演情報

[25p-21C-3]InAlN熱電薄膜のRF-MBEにおける成長温度依存性

〇服部 翔太1、荒木 努1、出浦 桃子2 (1.立命館大理工、2.R-GIRO)

キーワード:

InAlN,熱電