講演情報
[25p-31B-12]SEM観察下マニピュレーション法による金属微粒子間接合の電気特性評価
〇(M2)坂田 勇稀1 (1.千葉工大工)
キーワード：
単一微粒子,ナノギャップ電極,マニピュレーション
単一微粒子の電気特性評価を目的として走査型電子顕微鏡観察下マニピュレーション法により微粒子を2端子電極の間に配置する試みはなされてきたが、微粒子の大きさに合わせて電極の間隔を調整することが難しかった。本研究では、斜辺構造を備えた電極を用いることで、微粒子の大きさの制約をうけず、微粒子を電極間に簡便に配置した。SEMマニピュレーション法により異種の単一微粒子を連ねて電極間に配置した。