[25p-31B-1~12] 9.2 ナノ粒子・ナノワイヤ・ナノシート

14:00 〜 14:15

[25p-31B-4] SiO₂ラインパターン上へのSi量子ドットの自己組織化形成ｰラインおよびスペース幅依存性

〇(M1)白 鍾銀¹、辻 綾哉¹、今井 友貴¹、牧原 克典¹、宮﨑 誠一¹ (1.名大院工)

キーワード：

量子ドット,減圧化学気相堆積,自己組織化