講演情報
[25p-71A-3]トンネル接合を用いた積層型RGBモノリシックGaInN系μLEDアレイの作製とメタバース応用への挑戦
〇岩谷 素顕1、齋藤 竜成1、末広 好伸1、竹内 哲也1、上山 智1、飯田 大輔2、大川 和宏2 (1.名城大・理工、2.KAUST)
キーワード：
stacked RGB monolithic GaInN-based μLED arrays,トンネル接合,メタバース
単一材料系でフルカラーが実現可能ということからGaInN系μLEDの自発光型ディスプレイへの応用が広く注目されている．我々は、結晶成長によりRGB各デバイス間にトンネル接合層を形成し，エッチングしたn型層上に電極を形成する手法を提案し，積層モノリシックRGBフルカラーμLEDアレイを作製した．このμLEDアレイを画素ごとに駆動することで，赤・緑・青の発光を得た．本講演では，得られたデバイスの特性やそのポテンシャル，有機ELや液晶、量子ドットなど他の方式との比較し本技術の可能性と現状を議論する．