[15a-70A_101-1~7] 原子層プロセス（ALP：Atomic Layer Process）の解析技術と応用技術（３）

10:05 〜 10:35英語発表

[15a-70A_101-4] New Paradigms in Atomic Layer Deposition for 3D Semiconductor Device Fabrication

〇Han-Bo-Ram Lee^1,2 (1.Incheon National University, 2.ACS Publications)

キーワード：

atomic layer deposition、semiconductor fabrication、artificial intelligence