講演情報

[15a-M_135-2]LiNbO3同種材料接合構造の弾性表面波伝搬特性

〇(B)岡部 潤哉1、鈴木 雅視1、垣尾 省司1 (1.山梨大)

キーワード:

弾性表面波、ニオブ酸リチウム

SAWフィルタの高性能化のために,当研究グループでは,これまでにカット角の異なるLiNbO3(LN)を用いた同種材料接合構造を提案した.本報告では,LN同士の接合構造において,レイリー型SAW(R-SAW) とリーキーSAW(LSAW)が同等の応答を示す条件の探索を目的とし,その伝搬,共振特性を理論解析,および有限要素法(FEM)により解析した結果を報告する.